国产光通信用窄带干涉滤光片实现量产

由中国科学院长春光学精密机械与物理研究所承担的“窄带干涉滤光片及其产业化技术的研究”项目日前在长春通过鉴定。参与鉴定的专家声称，该窄带干涉滤光片产品总体性能及生产技术达到了国际先进水平。

光通信用窄带干涉滤光片是实现波分复用的关键器件，该产品的出现使通信领域的输出信号由单路变成多路，是快速发展光通信行业中具有不可替代作用的高利润、高附加值产品。专家认为，中国人口密度高、居住相对集中，光通信系统有巨大应用空间，开发这种光通信关键元件，对中国光通信系统的国产化及其国内相关技术发展有极大的促进作用。

为了适应中国光通信业高速发展的实际需求，2001年8月长春光机所上海新产业光电技术有限公司承担了中科院知《光通信用关键元件及产业化的技术》中的子课题之一窄带干涉滤片及其产业化技术的研究。

科技人员在两年多的时间里，深入研究了窄带干涉滤光片的优化结构及其设计、分析和修正技术，实现了滤光片主膜系镀制工艺技术的突破;完成了进口设备性能改造，实现了部分镀膜材料的国产化;掌握了高致密性、低损耗膜层的制备技术和高精度实时监控技术;建立完善了镀制后的减薄、抛光和划片工艺;建立完善了检测系统;掌握了200GHz和100GHz带宽的4-腔结构的制备技术，镀膜有效面积达到Ф50mm，完成了50GHz滤光片的试生产。

此外，还形成了一套较为完整的光通信用窄带干涉滤光片产业化生产技术，实现了100GHz和200GHz产品批量化生产，产品质量稳定，经检测和国内外用户试用，据称达到国外同类产品性能指标。